:: دوره 5، شماره 1 - ( جلد 5 - شماره 1 1397 ) ::
جلد 5 شماره 1 صفحات 104-114 برگشت به فهرست نسخه ها
بررسی و محاسبه اثرات غیرخطی فشردگی لایه نازک در نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی (MEMS) حلقوی در فرکانس‌های رادیویی
دکتر مسعود باقلانی*
دانشگاه ایلام، ایلام- بلوار پژوهش- دانشگاه ایلام ، m.baghelani@ilam.ac.ir
چکیده:   (512 مشاهده)

چکیده: در این مقاله مطالعه­ی تحلیلی اثرات غیرخطی تلفات فشردگی لایه­ی نازک در نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی حلقوی با تکیه گاه مرکزی در فرکانس­های رادیویی ارائه می­شود. در این راستا، تغییرات ضریب میرایی و ثابت فنر ناشی از این پدیده مطالعه شده و نحوه اثرگذاری آن بر روی ضریب کیفیت نوسانگر مورد بحث قرار خواهد گرفت. معادلات تحلیلی نشان می­دهد که با توجه به سختی بسیار بالای ساختار نوسانگر جابجایی فرکانسی و میرایی ناشی از این اثر، مقدار کوچکی است. بر اساس معادلات استخراج شده در این مقاله، برای نوسانگر طراحی شده نیازی به بسته یندی خلاء گران قیمت به منظور افزایش ضریب کیفیت وجود ندارد. استخراج این معادلات و ارائه روش تحلیل، یک نقطه عطف در بررسی نوسانگرها از نقطه نظر بسته بندی، فرآیند ساخت و هزینه تمام شده می باشد.

واژه‌های کلیدی: نوسانگرهای میکروالکترومکانیکی فرکانس رادیویی، نوسانگر دیسک حالت محیطی با تکیه گاه حلقوی، نوسانگر، فشردگی لایه نازک، بسته بندی، معادلات غیرخطی ارتعاش
متن کامل [PDF 958 kb]   (108 دریافت)    
نوع مطالعه: پژوهشي | موضوع مقاله: سیستمهای میکرو الکترومکانیکی
دریافت: ۱۳۹۶/۸/۱۲ | پذیرش: ۱۳۹۷/۴/۲۶ | انتشار: ۱۳۹۷/۱۱/۸


XML   English Abstract   Print



دوره 5، شماره 1 - ( جلد 5 - شماره 1 1397 ) برگشت به فهرست نسخه ها